Vorrichtung und Methode zur Untersuchung oder Modifizierung einer Oberfläche mittels Ladungsträgerstrahls
EP2287883
Art B1
16. August 2017
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH, NaWoTec GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2287883
- Aktenzeichen
- EP10011090
- Anmeldetag
- 15. April 2004
- Veröffentlichung
- 16. August 2017
- Erteilung
- 16. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/02H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH
NaWoTec GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Bardehle Pagenberg
Paris, Frankreich
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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