Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe

EP2290243 Art B1 23. April 2014

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2290243
Aktenzeichen
EP10008414
Anmeldetag
12. August 2010
Veröffentlichung
23. April 2014
Erteilung
23. April 2014
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D27/00F04D27/02F04D29/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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