Vorrichtung zur Herstellung einer Dünnfilmsolarzelle

EP2290700 Art B1 5. März 2014

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2290700
Aktenzeichen
EP09758384
Anmeldetag
4. Juni 2009
Veröffentlichung
5. März 2014
Erteilung
5. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/04C23C16/505H01L21/205C23C16/509C23C16/54
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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