Transmissionselektronenmikroskop mit einem Elektronenspektroskop, Probenhalter, Probentisch und Verfahren zur Aufnahme eines Spektralbildes

EP2293319 Art B1 28. Oktober 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2293319
Aktenzeichen: EP09770068
Anmeldetag: 11. Juni 2009
Veröffentlichung: 28. Oktober 2015
Erteilung: 28. Oktober 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20G01N23/04H01J37/244H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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