Verfahren zur Herstellung von High-K-Dielektrikum-Filmen unter Verwendung von auf Cer Basierenden SS-Diketonaten als Vorläufer

EP2297379 Art B1 17. April 2019

Anmelder: Sigma-Aldrich Co. LLC, Sigma-Aldrich Co. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2297379
Aktenzeichen
EP09751684
Anmeldetag
22. Mai 2009
Veröffentlichung
17. April 2019
Erteilung
17. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/455C23C16/40H01L21/314
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sigma-Aldrich Co. LLC
Sigma-Aldrich Co.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Sigma-Aldrich

Sigma-Aldrich ist ein US-amerikanischer Anbieter von Chemikalien und Life-Science-Produkten und gehört seit 2015 zum deutschen Merck-Konzern. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Messtechnik und Metallurgie. Die Anmeldungen von 2000 bis 2025 betreffen unter anderem Ramanspektroskopie zur Prozessüberwachung und die Herstellung von Lipid-Nanopartikeln.

222 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Brown, David Leslie Bristol, Großbritannien
641
Patente gesamt
34
Fachgebiete
22
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Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Organische Chemie Pharma & Biotechnologie Kunststoff- & Polymertechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik
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