Filmerzeugungsvorrichtung
EP2298959
Art A1
23. März 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2298959
- Aktenzeichen
- EP09758432
- Anmeldetag
- 5. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 23. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/54C23C16/24H01L31/04H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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