Dünnfilm-Solarzellenherstellungsvorrichtung

EP2299477 Art B1 28. August 2013

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2299477
Aktenzeichen
EP09758348
Anmeldetag
3. Juni 2009
Veröffentlichung
28. August 2013
Erteilung
28. August 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/18H01L21/677C23C16/54C23C16/458
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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