Vorrichtung zur Herstellung einer Dünnfilm-Solarzelle

EP2299498 Art B1 11. Dezember 2013

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2299498
Aktenzeichen
EP09758344
Anmeldetag
3. Juni 2009
Veröffentlichung
11. Dezember 2013
Erteilung
11. Dezember 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677H01L31/18C23C16/458
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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