Verfahren zur Herstellung einer Transparenten und Leitfähigen Metalloxidschicht durch Gepulstes, Hochionisierendes Magnetronsputtern

EP2300631 Art B1 12. März 2014

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2300631
Aktenzeichen
EP09761451
Anmeldetag
9. Juni 2009
Veröffentlichung
12. März 2014
Erteilung
12. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/35C23C14/08C23C14/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

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