Verfahren zur Herstellung einer Mehrschichtigen Beschichtung, eines Optisches Elements und einer Optischen Anordnung

EP2300876 Art A1 30. März 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2300876
Aktenzeichen: EP09761365
Anmeldetag: 14. Mai 2009
Veröffentlichung: 30. März 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/08G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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