Verfahren zur Verwendung von stickstoffbasierten Verbindungen bei strahleninduzierter Bearbeitung
EP2309020
Art B1
5. März 2014
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2309020
- Aktenzeichen
- EP10178148
- Anmeldetag
- 22. September 2010
- Veröffentlichung
- 5. März 2014
- Erteilung
- 5. März 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00C23C14/04C23C14/22C23C14/46C23C14/54C23C14/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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