Verfahren und System zur Waferinspektion
EP2317388
Art A3
14. Mai 2014
Anmelder: IMEC, Hitachi High-Technologies Corporation 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2317388
- Aktenzeichen
- EP10189134
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Hitachi High-Technologies Corporation - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Wauters, Davy Erik Angelo
Boortmeerbeek, Belgien
164
Patente gesamt
25
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte