Steuerung der Positionsbeziehung zwischen einem Probensammelinstrument und einer zu Analysierenden Oberfläche Während einer Stichprobennahmeprozedur mit Bildanalyse

EP2319067 Art A2 11. Mai 2011

Anmelder: UT-Battelle, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2319067
Aktenzeichen
EP09773879
Anmeldetag
2. Juni 2009
Veröffentlichung
11. Mai 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01J49/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
UT-Battelle, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 UT-Battelle

UT-Battelle ist der Betreiber des Oak Ridge National Laboratory in den USA, ein Gemeinschaftsunternehmen der University of Tennessee und des Battelle Memorial Institute. Das Patentportfolio deckt breit Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Metallurgie und Werkstoffe ab. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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