Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle und Herstellungsgerät
EP2320473
Art A1
11. Mai 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2320473
- Aktenzeichen
- EP09806760
- Anmeldetag
- 14. August 2009
- Veröffentlichung
- 11. Mai 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/20G01R31/40G01N21/95H01L27/142
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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