Solarzellenherstellungsverfahren und Solarzelle

EP2320474 Art B1 10. September 2014

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2320474
Aktenzeichen
EP09773583
Anmeldetag
3. Juli 2009
Veröffentlichung
10. September 2014
Erteilung
10. September 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/04H01L27/142
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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