Verfahren zur Herstellung von Solarzellen

EP2323169 Art A1 18. Mai 2011

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2323169
Aktenzeichen
EP09809501
Anmeldetag
19. August 2009
Veröffentlichung
18. Mai 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/142H01L31/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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