Verfahren zur Herstellung einer Fotoelektrischen Umwandlungsvorrichtung, Fotoelektrische Umwandlungsvorrichtung und System zur Herstellung einer Fotoelektrischen Umwandlungsvorrichtung
EP2323172
Art A1
18. Mai 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2323172
- Aktenzeichen
- EP09809602
- Anmeldetag
- 28. August 2009
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/24H01L31/076H01L31/077H01L31/18H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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