Korrektor für axiale Aberrationen einer teilchenoptischen Linse

EP2325862 Art A1 25. Mai 2011

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2325862
Aktenzeichen
EP09176323
Anmeldetag
18. November 2009
Veröffentlichung
25. Mai 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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