Vorrichtung für Vakuumentleerung
EP2330299
Art A1
8. Juni 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2330299
- Aktenzeichen
- EP09812899
- Anmeldetag
- 10. September 2009
- Veröffentlichung
- 8. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04B37/14F04B41/06F04C25/02F04C23/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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