Siliciumcarbid-Einzelkristallsubstrat

EP2330615 Art A1 8. Juni 2011

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2330615
Aktenzeichen: EP09817450
Anmeldetag: 28. September 2009
Veröffentlichung: 8. Juni 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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