Verfahren zum Elektronenstrahlinduzierten Abscheiden von Leitfähigem Material
EP2331726
Art B1
1. November 2017
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2331726
- Aktenzeichen
- EP09777750
- Anmeldetag
- 7. August 2009
- Veröffentlichung
- 1. November 2017
- Erteilung
- 1. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/285C23C16/04C23C16/48C23C16/16H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Bardehle Pagenberg
Paris, Frankreich
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
11.203
Patente gesamt
5
Patentanwälte
2
Standorte