Messverfahren für eine Halbleiterstruktur

EP2331942 Art A1 15. Juni 2011

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2331942
Aktenzeichen: EP09778178
Anmeldetag: 28. August 2009
Veröffentlichung: 15. Juni 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G01N21/66G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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🇩🇪 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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