Hochpräzise Balkenplatzierung zur Navigation in Lokalen Bereichen
EP2332162
Art A2
15. Juni 2011
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2332162
- Aktenzeichen
- EP09820024
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/22H01L21/66H01J37/304H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
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28
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4
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