Multidirektionale Inlineverarbeitungsvorrichtung mit automatischer Sequenzierung

EP2333814 Art B1 3. Februar 2021

Anmelder: Orbotech LT Solar, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2333814
Aktenzeichen
EP10194527
Anmeldetag
10. Dezember 2010
Veröffentlichung
3. Februar 2021
Erteilung
3. Februar 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677H01L21/67H01J37/32C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Orbotech LT Solar, LLC
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Kirschner, Klaus Dieter München, Deutschland
823
Patente gesamt
32
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Akustik, Musik & Datenspeicherung Software & Datenverarbeitung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Metallurgie & Oberflächentechnik
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