Waferverarbeitungsvorrichtung mit Abstimmbarem Elektrischem Widerstand
EP2335279
Art A1
22. Juni 2011
Anmelder: Momentive Performance Materials Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2335279
- Aktenzeichen
- EP09792160
- Anmeldetag
- 2. September 2009
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Momentive Performance Materials Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Momentive Performance Materials Inc.
US-amerikanischer Chemiekonzern, spezialisiert auf Silikone und Quarzprodukte, hervorgegangen aus der Silikonsparte von General Electric. Patente betreffen vor allem Silikonchemie und Spezialmaterialien.
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