Plasmaquelle für ein Teilchenstrahlsystem

EP2341525 Art B1 23. Oktober 2013

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2341525
Aktenzeichen
EP10196692
Anmeldetag
23. Dezember 2010
Veröffentlichung
23. Oktober 2013
Erteilung
23. Oktober 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/02H01J37/08H01J27/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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