Verwendung von Tensid-/entschäumungsmischungen für Erhöhte Metallladung und Oberflächenpassivierung von Siliziumsubstraten

EP2342738 Art A2 13. Juli 2011

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2342738
Aktenzeichen
EP09818502
Anmeldetag
1. Oktober 2009
Veröffentlichung
13. Juli 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C09K13/08C23F1/18H01L21/311H01L21/3213
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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