Zusammensetzung zur Bildung von ferroelektrischen Dünnfilmen, Verfahren zur Bildung von ferroelektrischen Dünnfilmen und mit diesem Verfahren gebildete ferroelektrische Dünnschicht

EP2343268 Art B1 21. Februar 2018

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation, STMicroelectronics (Tours) SAS 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2343268
Aktenzeichen
EP10192771
Anmeldetag
28. Mai 2009
Veröffentlichung
21. Februar 2018
Erteilung
21. Februar 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C04B35/49C01G25/00C04B35/46H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Mitsubishi Materials Corporation
STMicroelectronics (Tours) SAS
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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