Verfahren zur Probenbeobachtung und Elektronisches Mikroskop dafür
EP2343727
Art A1
13. Juli 2011
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2343727
- Aktenzeichen
- EP09823250
- Anmeldetag
- 19. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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