Trockenpumpe
EP2345813
Art A1
20. Juli 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2345813
- Aktenzeichen
- EP09818985
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 20. Juli 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04C29/04F04C25/02F04C18/12F04C23/00F01C21/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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