Maske und Verfahren zur Herstellung eines Films mit der Maske

EP2351871 Art B1 15. Juni 2016

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2351871
Aktenzeichen
EP09821801
Anmeldetag
21. Oktober 2009
Veröffentlichung
15. Juni 2016
Erteilung
15. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/04C23C14/56H01L31/0224H01L31/046H01L31/18H01L21/02H01L31/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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