Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle, Ätzvorrichtung und Cvd-Vorrichtung
EP2357675
Art A1
17. August 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2357675
- Aktenzeichen
- EP09823302
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 17. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/18C23C16/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
1.137 Patente in unserer Datenbank