Verdampferzufuhrampulle

EP2361672 Art A3 23. November 2011

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2361672
Aktenzeichen
EP11153870
Anmeldetag
1. Juli 2003
Veröffentlichung
23. November 2011
Rechtsraum
EP
IPC
B01F3/04C23C16/00C23C16/448
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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