Vorrichtung, Verfahren und System zur Probenuntersuchung

EP2365321 Art B1 2. Oktober 2013

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2365321
Aktenzeichen
EP11168729
Anmeldetag
12. Dezember 2007
Veröffentlichung
2. Oktober 2013
Erteilung
2. Oktober 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/225H01J37/20H01J37/22H01J37/256H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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