Verfahren zum Ermitteln einer Reparaturform eines Defekts an oder in der Nähe einer Kante eines Musters einer Photomaske
EP2368152
Art B1
16. August 2017
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2368152
- Aktenzeichen
- EP09778702
- Anmeldetag
- 24. September 2009
- Veröffentlichung
- 16. August 2017
- Erteilung
- 16. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01Q40/02G03F1/72G03F1/74// G03F1/84G01Q30/06G01Q80/00B82Y35/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Bardehle Pagenberg
Paris, Frankreich
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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