Wafer-Chuck für die Euv-Lithographie

EP2368154 Art B1 26. Februar 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2368154
Aktenzeichen: EP09774839
Anmeldetag: 8. Dezember 2009
Veröffentlichung: 26. Februar 2014
Erteilung: 26. Februar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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