Beleuchtungssystem und Lithographievorrichtung
EP2369413
Art B1
7. April 2021
Anmelder: ASML Netherlands BV, Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2369413
- Aktenzeichen
- EP11154841
- Anmeldetag
- 17. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 7. April 2021
- Erteilung
- 7. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands BV
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Fachgebiete
Vertreten von
Maas, Abraham Johannes
Veldhoven, Niederlande
118
Patente gesamt
10
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven