Verfahren zur Wartung eines Substratverarbeitungssystems

EP2374147 Art A2 12. Oktober 2011

Anmelder: Frontken (Singapore) Pte Ltd, Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc., Tay, Kiang Meng, Mah, Eugene Wei Khai, Liew, Huay Meei, Tay, Teck Kwang, Lee, Chua Bong, Chong, Shi Chai, White, James Edward, Caruso, Rudolph John, Simon, Daniel Allen, Rahme, Elie Eid 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2374147
Aktenzeichen: EP09837704
Anmeldetag: 28. August 2009
Veröffentlichung: 12. Oktober 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/223H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Frontken (Singapore) Pte Ltd
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Tay, Kiang Meng
Mah, Eugene Wei Khai
Liew, Huay Meei
Tay, Teck Kwang
Lee, Chua Bong
Chong, Shi Chai
White, James Edward
Caruso, Rudolph John
Simon, Daniel Allen
Rahme, Elie Eid
Land: 🇸🇬 Singapur

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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