Katalysatorgestütztes chemisches Verarbeitungsverfahren und entsprechende Vorrichtung
Anmelder: EBARA CORPORATION, Osaka University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2381008
- Aktenzeichen
- EP11006032
- Anmeldetag
- 27. August 2007
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C8/40C23C18/14C25D5/06C25D5/22C25D21/12H01L21/306H01L21/321H01L21/3213
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- EBARA CORPORATION
Osaka University - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
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Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.