Trennverfahren für ein Schichtsystem umfassend einen Wafer

EP2382656 Art B1 3. Oktober 2018

Anmelder: Nissan Chemical Corporation, Nissan Chemical Industries, Ltd., Thin Materials AG 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2382656
Aktenzeichen: EP09795451
Anmeldetag: 23. Dezember 2009
Veröffentlichung: 3. Oktober 2018
Erteilung: 3. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nissan Chemical Corporation
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Thin Materials AG
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von