Verfahren zur Erzeugung Nanoskaliger Strukturen von Molekülen auf der Oberfläche eines Materials
EP2384456
Art B1
1. März 2017
Anmelder: SwissLitho AG, International Business Machines Corporation 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2384456
- Aktenzeichen
- EP10703509
- Anmeldetag
- 22. Januar 2010
- Veröffentlichung
- 1. März 2017
- Erteilung
- 1. März 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G11B9/00G01Q80/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- SwissLitho AG
International Business Machines Corporation - Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇺🇸
IBM
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Kanzlei
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Zürich, Schweiz
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Ragot, Sébastien Pierre
NoneRüschlikon