Korrektor der sphärische Abberation und Verfahren zur Korrektur der sphärischen Abberation

EP2388795 Art A3 16. Januar 2013

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2388795
Aktenzeichen
EP11166606
Anmeldetag
18. Mai 2011
Veröffentlichung
16. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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