In-Situ-Reinigungsformulierungen für Lithografische Werkzeuge
EP2391700
Art A2
7. Dezember 2011
Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2391700
- Aktenzeichen
- EP10736288
- Anmeldetag
- 26. Januar 2010
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C11D3/43C11D3/44C11D1/825C11D11/00// C11D1/66C11D3/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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