In-Situ-Reinigungsformulierungen für Lithografische Werkzeuge

EP2391700 Art A2 7. Dezember 2011

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2391700
Aktenzeichen
EP10736288
Anmeldetag
26. Januar 2010
Veröffentlichung
7. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C11D3/43C11D3/44C11D1/825C11D11/00// C11D1/66C11D3/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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