Verfahren zur Herstellung einer Fotoelektrischen Umwandlungsvorrichtung, Fotoelektrische Umwandlungsvorrichtung, System zur Herstellung einer Fotoelektrischen Umwandlungsvorrichtung und Verfahren zur Verwendung des Systems zur Herstellung einer Fotoelektrischen Umwandlungsvorrichtung
EP2393119
Art A1
7. Dezember 2011
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2393119
- Aktenzeichen
- EP10735670
- Anmeldetag
- 29. Januar 2010
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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