Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Silicium-Substrats mit ausgezeichneter Oberflächenqualität mittels Intertgasblasverfahren

EP2397580 Art B1 24. Januar 2018

Anmelder: Korea Institute of Energy Research 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2397580
Aktenzeichen: EP11169731
Anmeldetag: 14. Juni 2011
Veröffentlichung: 24. Januar 2018
Erteilung: 24. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C30B15/00C30B15/06C30B15/14C30B29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute of Energy Research
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Energy Research

Das Korea Institute of Energy Research (KIER) ist eine staatlich finanzierte südkoreanische Forschungseinrichtung für Energietechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Halbleiter- und elektrische Bauelemente, ergänzt um anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen reichen bis 2004 zurück.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von