Elektronenstrahlvorrichtung und Probenhalter für die Elektronenstrahlvorrichtung

EP2398036 Art B1 1. Oktober 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2398036
Aktenzeichen: EP10741027
Anmeldetag: 20. Januar 2010
Veröffentlichung: 1. Oktober 2014
Erteilung: 1. Oktober 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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