Verfahren für die strahlinduzierte Ablagerung bei kryogenen Temperaturen
EP2402477
Art B1
13. August 2014
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2402477
- Aktenzeichen
- EP11171817
- Anmeldetag
- 29. Juni 2011
- Veröffentlichung
- 13. August 2014
- Erteilung
- 13. August 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/26C23C16/46C23C16/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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