Organischer Verbunddampfgenerator und Vorrichtung zur Herstellung eines Organischen Dünnfilms
EP2402480
Art A1
4. Januar 2012
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2402480
- Aktenzeichen
- EP10746189
- Anmeldetag
- 23. Februar 2010
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/24C23C16/448H01L51/50H05B33/10B05D1/00C23C14/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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