Einrichtung mit einem Strahl Geladener Teilchen und Verfahren zur Positionskorrektur in Bezug auf den Strahl Geladener Teilchen

EP2402978 Art A1 4. Januar 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2402978
Aktenzeichen: EP09840714
Anmeldetag: 23. Oktober 2009
Veröffentlichung: 4. Januar 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/22H01J37/305H01J37/304H01J37/153H01J37/28H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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