Inspektionsverfahren und -Vorrichtung

EP2409195 Art B1 8. Mai 2019

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2409195
Aktenzeichen: EP09799331
Anmeldetag: 17. Dezember 2009
Veröffentlichung: 8. Mai 2019
Erteilung: 8. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/44

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands BV
Land: 🇳🇱 Niederlande

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von

Broeken, Petrus Henricus Johannes Veldhoven, Niederlande

88

Patente gesamt

5

Fachgebiete

1

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Optik & Fototechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung

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Weitere Vertreter

van de Ven, Jan-Piet
NoneEindhoven

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